シール材からの抽出物は、特にウェットプロセスでは問題となります。単に液体に対してシール材が膨潤するしない、というレベルではなく、極めて微量（ppbクラス）でどれだけの抽出物があるのかということが問題となってきています。カルレッツシリーズの中で、カルレッツ®6375UPがウェットプロセスで広く使われています。カルレッツ®6375UPはウルトラピュアー仕様となっています。
●カルレッツ®6375UP
腐食性流体に対して不活性な素材を用い、パーティクルの発生の低減化をはかっています。シール材からの有機物、無機物、金属などの抽出物が他のシール材と比べて少ないことが特徴です。リソグラフィー、エッチング、ウエハクリーニング、銅成膜工程に用いられる強酸、超純水、ピラニア液、アミン系剥離液などの流体に対し優れた低抽出物特性を示します。
半導体業界では、昨今使用材料のメタル含有物について非常に敏感になってきています。 これは微細加工による製品の品質向上のためです。 デュポンエラストマー社でも、半導体用に含有物の少ないグレードの開発をおこなっていますが、 ここでは、特にこの性能をあげた2つの材質、カルレッツ®9100とカルレッツ®8002のメタル含有について下図に紹介します。
