超高真空用シール材を選定する際、ガスの透過性は選定の判断材料の重要なポイントとなります。 ガス透過性は、ある一定温度、圧力のもとで、ガスがエラストマーを通過する量をもとに決められます。ガスの透過はさまざまなファクターに存在する複雑な現象です。
ファクターとは例えば
表はカルレッツ及び他のエラストマー、フッ素樹脂のガス透過率です。カルレッツは真空用シール材として比較的良好なガス透過性を示しています。
| 材質 | 窒素 | 酸素 | ヘリウム | アルゴン | 二酸化炭素 |
|---|---|---|---|---|---|
| Kalrez®4079 | 0.30 | 1.00 | 11.20 | 0.68 | 2.53 |
| Kalrez®2037 | 0.42 | 1.71 | 14.50 | 0.76 | 3.53 |
| バイトン®A | 0,09 | 0.23 | 3.05 | - | - |
| バイトン®GF | 0.21 | 0.42 | 4.39 | - | - |
| EPDM | 0.83 | 2.11 | 3.36 | - | - |
| シリコーンゴム | 28.0 | 60.0 | 34.0 | 68.0 | 323.0 |
| テフロン®PFA | 0.17 | 0.53 | - | - | 1.36 |
単位 : 10-9cm3・cm/sec・cm2・cmHg
