カルレッツの耐腐食性(ウエットプロセス)、耐溶剤性、耐薬品性、耐油性。
カルレッツ® はデュポンダウエラストマー社の商標です。
記号の意味 A:条件により使用可 B:条件により注意が必要
| 薬品名 | 薬品名(英名) | 耐腐食性 |
|---|---|---|
| 酢酸30% | Acetic Acid,30% | A |
| 氷酢酸 | Acetic Acid,Glacial | A |
| アセトン | Acetone | A |
| フッ化アンモニア | Ammonium Fluoride(S) | A |
| アンモニア水 | Ammonium Hydroxide | A |
| 王水 | Aqua Regia | B |
| 三臭化ほう素 | Boron Tribromide | A |
| Buffered Oxide Etchants(BOE) | Buffered Oxide Etchants(BOE) | A |
| 酢酸ブチル | Buthl(n-) Acetate | A |
| セロソルブアセテート | Cellosolve Acetate | A |
| クロム酸溶液 | Chromic Acid | A |
| シクロヘキサン | Cyclohexanone | A |
| 超純水 | Deionized Water(UPD) | A |
| ジクロロフロロエタン | Dichlorofluoroethane(F-141b) | A |
| ジクロロトリフロロエタン | Bichlorotriflioroethane(F-123) | A |
| 酢酸エトキシエチル | Ethoxyethyl Acetate(EGMEEA) | A |
| 酢酸エチル | Ethyl Acetate | A |
| 乳酸エチル | Ethyl Lactate | A |
| ヘキサメチルジシリサン | Hexamethyldisilizane(HMDS) | A |
| 塩酸 | Hydrochloric Acid | A |
| ふっ化水素酸 | Hydrofluoric Acid | A |
| 過酸化水素 | Hydrogen Peroxide | A |
| イソプロピルアルコール | Isopropyl Alcohol(IPA) | A |
| メタノール | Methanol | A |
| メトキシエタノール | Methoxyethanol(DGMMA) | A |
| n-メチル-2ピロリドン | Methyl(n-)Pyrrolidone(2-)(nMP) | A |
| メチルエチルケトン | Methyl Ethyl Ketone(MEK) | A |
| メチルイソブチルケトン | Methyl Isobutyl Ketone(MIBK〉 | B |
| 硝酸 | Nitric Acid | B |
| オゾン水 | Ozonated Deionized Water | A |
| 燐酸 | Phosphoric Acid | A |
| オキシクロリド燐 | Phosphorus Oxychloride | A |
| ピラニア液 | Piranha | A |
| 水酸化カルシウム | Potassium Hydroxide(s) | A |
| 苛性ソーダ | Sodium Hydroxide(s) | A |
| ストッダードソルバント | Stoddard Solvent | A |
| 硫酸 | Sulfuric Acid | A |
| テトラエチルオルソシリケート | Tetraethylorthosilicate(TEOS) | A |
| テトラメチル水酸化アンモニウム | Tetramethyl Ammonium Hydroxide | B |
| テトラメチルシクロテトラシロキサン | Tetramethylcyclotetrasiloxane(TMCTS) | A |
| トルエン | Toluene | A |
| トリクロロエチレン | Trichloroethylene | A |
| トリクロロフロロメタン | Trichlorofluoromethane(F-11) | B |
| トリフロロフェニルシラン | Trichlorophenylsilane | A |
| トリクロロシラン | Trichlorsilane | B |
| トリクロロトリフロロエタン | Triechlorotrifluoroethane(F-113,-TF) | A |
| ホウ散トリメチル | Trimethyl Borate(TMB) | A |
| 亜燐酸塩トリメチル | Trimethyl Phosphite(TMP) | A |
| キシレン | Xylene | A |