HDP-CVD用カルレッツ サハラシリーズ
●過酷なCVDのクリーニングガス(NF3)に耐え、
稼働部の用途に適合する材料
カルレッツ® はデュポン エラストマー社の商標です。
(1)現在プラズマCVDで主流になっているNF3プラズマによるクリーニングガスに対して低パーティクルの特性をもつ。
(2)稼働部(Gate Valve、排気バルブ、スリットバルブ等)に最適な物理特性を新しいポリマーにより確立した。
カルレッツの優れた物理的特性、カルレッツ サハラシリーズ
| 材質 | Karlez8085 | Karlez8575* | Karlez4079 |
|---|---|---|---|
| 硬度(ショアA)(a) | 82** | 74** | 75 |
| 100%モデュラス(Mpa)(b) | 7.5 | 2.5 | 7.2 |
| 引張り強度(Mpa)(b) | 16.3 | 12 | 16.9 |
| 破断時の伸び率(%) | 159 | 230 | 150 |
| 圧縮永久歪み(70時間 150℃)(%) | 28** | - | - |
| 圧縮永久歪み(70時間 175℃)(%) | 35** | - | - |
| 圧縮永久歪み(70時間 204℃)(%)(c) | 42** | 29 | 25 |
| 耐熱目安温度(℃) | 225 | 300 | 316 |
(a)ASTM D2240 pellet
(b)ASTM D412 dumbell
(c)ASTM D395B pellet
*UP(ウルトラピュアー洗浄とパッケージ)対応材料
**AS568A214 Oリングによるデータ
HDP-CVDでのカルレッツ8085の使用後のシール表面にパーティクル、プラズマによる重量減少は無し。
使用環境
使用ガス : NF3、SiH4、O2
プロセス温度 : 350～400℃
使用期間 : 約2ヶ月間
カルレッツ製品の使用および廃棄に関して、上記の情報は何ら保証をなすものではありません。また責を負うものではありません。使用に際しては,個々の用途に対して,使用の前に,独自に機能テストを行なうようにおすすめします｡エラストマー製の部品は,どれをとっても永久に使用できるものではありません｡したがってカルレッツ製の部品といえども重大な応用分野で使用する場合は,定期的な点検と交換を忘れないよう,十分にお気をつけください｡
