モリセイNEXUS-MSは、汎用FKM-70に比べて優れた**摺動性**(低摩擦係数)と**耐摩耗性**を両立した高性能フッ素ゴム(FKM)Oリングです。黒色配合でありながらプラズマ耐性も改良されており、エッチングなどを阻害する有害元素の含有もありません。
黒色 耐熱性200℃~-10℃ 硬さA80±5
NEXUS-MSは、動的なシールが必要な箇所や、パーティクル発生を抑えたいクリーンな環境、プラズマプロセスが関わる分野において、高い密封性と長寿命を実現します。精密機械、半導体製造装置、ロボットなど、高性能が求められる様々な用途で活躍します。
NEXUS-MSは、適切な配合剤を組み合わせることで、旧NEXUS-403より摩擦係数の低減を図りました。
NEXUS-MSは、汎用のFKM-70に比べ優れた耐摩耗性を示します。
NEXUS-MSは黒色配合でありながら、旧NEXUS-403やNEXUS-217と比較してプラズマ耐性を向上させました。また、エッチング等を阻害する有害元素の含有もありません。
試験項目 | 単位 | NEXUS-MS | JIS B2401-1 FKM-70 |
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推奨使用温度 | ℃ | 200~-10℃ | 220~-15℃ | |
常態試験 JIS K6251 JIS K6253 |
タイプAデュロメーター硬さ | - | A81/s | A73/s |
引張り強さ | Mpa | 17.6 | 15.7 | |
伸び | % | 291 | 219 | |
100%引張り応力 | MPa | 4.72 | 5.80 | |
熱老化試験 230℃ 72hr. JIS K6257 |
硬さ変化 | - | -1 | +2 |
引張り強さ変化率 | % | 0 | -4 | |
伸び変化率 | % | +4 | -4 | |
圧縮永久歪み試験 25%圧縮 JIS K6262 |
170℃ 22hr. | % | - | 4 |
200℃ 70hr. | % | 23 | 15 |
この他にも、モリセイNEXUSシリーズには様々な高性能Oリングがございます。詳細については、以下のページもご覧ください。