NEXUS-634 - 低パーティクル・耐プラズマ高性能フッ素ゴム(FKM)Oリング

モリセイNEXUS-634は、半導体製造装置やプラズマエッチング環境下でのクリーン度を追求した高性能フッ素ゴム(FKM)Oリングです。カーボンブラックを使用せず、パーティクル（異物）発生量の抑制と重量減少の低減を実現。さらに、有害金属を含まないため、クリーン性が求められる精密な用途に最適です。

対応温度：200℃～-10℃
標準硬さ：A70±5（濃青色）

NEXUS-634 の主な特長と応用分野

NEXUS-634は、耐熱性に優れたフッ素ゴムでありながら、クリーン環境での使用を想定して開発されました。従来のフッ素ゴムが抱えるパーティクル問題や金属コンタミネーションのリスクを低減し、特に以下のような分野でその性能を発揮します。

• **低パーティクル・低重量減少**: プラズマエッチング環境下において、Oリングからの異物発生や素材の損耗を極めて低く抑えます。
• **有害金属を含まない**: 製造プロセスにおける金属汚染のリスクを排除し、高純度な環境を維持します。
• **優れた耐薬品性**: 熱水・スチームや高温の無機酸など、過酷な薬品環境にも対応可能です。
• **用途例**: CVD（化学気相成長）装置、半導体製造装置、プラズマエッチング装置、高純度を要するプロセスラインなど。
• パーフロ(FFKM)に比べてコストを抑えながらも、優れた性能を発揮します。

プラズマエッチング環境下での重量減少が少ない。耐プラズマ試験

NEXUS-634材は、ノンパーフロ・ノンカーボン配合でありながら、プラズマエッチング時における重量減少率が少なく、高い耐プラズマ性を示します。
**測定方法**
評価装置：ICPプラズマエッチング装置
評価機器：EIS-700(エリオニクス製)
評価条件
・試験片形状：Oリング P-26
・ガス・流量：O₂ 30sccm / SF₆ 10sccm
・RFパワー：500W
・圧力：0.057Pa
・照射時間：3時間

有害金属を含まない。含有元素比較

蛍光X線分析装置(EDX)を用いてNEXUS-634材の元素分析を行った結果、ダスト源となる金属を含まないことが確認されました。これにより、高純度環境での汚染リスクを低減します。
測定装置：EDX-720(島津製作所製)
検出元素：Na～U
定量法：FP法。機器内部の検量線を用いて、ポリマーをバランスとして定量計算しています。

NEXUS-634の物性・材料特性

この他にも、モリセイNEXUSシリーズには様々な高性能Oリングがございます。詳細については、以下のページもご覧ください。

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