モリセイパーシティーシリーズOリングは、従来のフッ素ゴムより耐溶剤性、耐熱性、プラズマ環境など、苛酷な条件でも優れた性能を発揮する超高性能フッ素ゴムシリーズ（パーフロ・FFKM/FFKO）です。品質管理に優れた安心の日本国産Oリングです。
モリセイパーシティーシリーズ パーフロ(FFKM) Oリングのラインナップ
モリセイOリング、パーシティーシリーズ特性
高性能Oリング モリセイNEXUSシリーズOリング(FKM、他)はこちら
モリセイOリングメーカー:森清化工
モリセイOリングに使用される汎用グレード、特殊グレード(高性能)、パーフロ(FFKM)の構造例です。
耐熱性、耐油性に優れた汎用グレード。高温水・スチーム・無機酸類など、加水分解を受けるため要注意。
二元系フッ素ゴムに比べ、フッ素(原子記号:F)濃度が高く、ポリマーが安定している。無機酸類に強く、耐スチーム性に優れる。
主鎖中に炭素-水素結合を含んでいないため、化学的、熱的に非常に安定。架橋方式によって耐熱性が変わる。
機械強度、伸度、耐溶剤性、耐薬品性に優れるモリセイパーフロの基本材質です。
黒色 耐熱性230℃～0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途:バルブ、フランジ●
MPBはパーフルオロエラストマー材(FFKM)となります。非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有している材質です。
酸塩基、ケトン、アミンなどの薬品に耐性があり、推奨温度範囲内でしたら熱水スチームにも対応可能です。
ガスバリア性も高く、真空シール用途にもご使用可能です。
MPBとほぼ同等の耐薬品性、物性を持ちますが圧縮永久歪に優れる材質です。
黒色 耐熱性200℃～-15℃ 硬さA75±5
●主な使用用途:バルブ、フランジ●
4275Bはパーフルオロエラストマー(FFKM)と呼ばれる材質であり、耐熱性と耐薬品性に非常に優れています。
酸塩基、ケトン、アミンなどをはじめとしたほぼ全ての薬品に耐性があり、推奨温度範囲内でしたら熱水・スチームにもご使用頂けます。
また、こちらの材質は他のパーフロと比較して低温性に優れており、-15℃までご使用頂けます。
モリセイ Oリング全材質の中で最も耐熱性に優れる材質です。他のモリセイパーフロと比較して 熱水、スチーム、高温アミンに注意が必要です。
黒色 耐熱性300℃～0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途:真空炉等高熱環境●
MP300Bはパーフルオロエラストマー材(FFKM)になります。非常に優れた耐熱性を有しており、300℃でのご使用が可能です。
耐薬品性も優れていますが、高温の熱水、スチーム、アミンなどからは影響を受ける可能性があり注意が必要です。
有害金属を含有しておらずプラズマエッチング用途に最適な材質です。
白色 耐熱性200℃～0℃ 硬さA70±5
●主な使用用途:真空炉等高熱環境●
MPPはパーフルオロエラストマー材(FFKM)となります。非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有した材質になります。
こちらの材質は半導体製造工程のドライエッチング用途などを想定して設計されています。
カーボン、及び金属系の充填剤が不使用ですのでご使用時に系の汚染を抑えることが可能です。
MPPと同様にプラズマエッチング用途に適し、圧縮永久歪、低粘着性に優れます。
白色 耐熱性200℃～-15℃ 硬さA70±5
●主な使用用途:半導体、液晶製造装置など●
4270Wはパーフルオロエラストマー材(FFKM)となります。非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有する材質です。
こちらの材質は半導体製造工程のドライエッチング用途向けに設計されております。カーボン不使用品であり、
汚染を抑えることが可能です。この材質はプラズマの遮蔽性が高く、重量減少率を低く抑え、長くお使い頂ける材質となります。
耐プラズマ性に優れ耐熱性、圧縮永久歪に優れるハイグレード品です。
白色 耐熱性230℃～0℃ 硬さA80±5
●主な使用用途:半導体製造装置など●
6780SPはパーフルオロエラストマー材(FFKM)になります。非常に優れた耐薬品性を持つ材質です。
こちらの材質は半導体製造工程のドライエッチング用途などを想定して設計されています。
カーボン、及び金属系の充填剤が不使用ですのでご使用時に汚染を抑えることが可能です。
また、従来材と比較して重量減少率とパーティクル発生率の低い材質となっております。
300℃まで対応可能でかつ耐薬品性にも優れるハイグレード品です。
黒色 耐熱性300℃～0℃ 硬さA70±5
●主な使用用途:半導体製造装置など●
6470SBはパーフルオロエラストマー(FFKM)の材質になります。モリセイ Oリング材質の中では、最も優れた耐熱性と耐薬品性を有している材質です。
300℃までの熱水・スチーム、アミン、酸塩基などにもご使用頂けます。
半導体製造工程のレジストストリッパーに使われる非常に強い薬剤や高温の洗浄工程などにもご使用頂くことが可能です。
ある程度の耐薬品性と耐熱性に加え、-60℃まで対応できる低温性を兼ね備えています。
黒色 耐熱性200℃～-60℃ 硬さA70±5
●主な使用用途:低温の流体、溶剤●
J-3LXは特殊フッ素ゴムの一種であるパーフルオロポリエーテルエラストマー(FFKO)となります。
ポリマー構造の特性により、200℃までの耐熱性、他のフッ素ゴムより優れた-60℃までの低温性、
さらに通常のフッ素ゴムでは耐性のない一部溶剤への耐性を兼ね備えております。
ただし対応可能サイズに制限があり、特有の外観基準を設けております。
プラズマエッチング用途に適し、耐熱性にも優れた材料です。
灰色 耐熱性300℃～0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途:高温、プラズマ●
Percity-1075はパーフルオロエラストマー(FFKM)の一種であり、耐薬品性に優れたパーシティーシリーズです。
外観は淡い灰色となりますが、プラズマエッチングへの耐性、エッチング時の非ダスト性に優れています。
同時に、耐熱性も非常に優れており、300℃までの高温でもシール性を保つことができます。
耐薬品性と耐圧性に優れた材料であり、特性として急減圧耐性を備えています。
黒色 耐熱性230℃～-10℃ 硬さA95±5
●主な使用用途:高圧、耐薬品性●
Samurai-95はパーフルオロエラストマー(FFKM)の一種であり、耐薬品性に優れたパーシティシリーズです。
硬度95Aと非常に硬い材質であり高圧ご使用時のはみだしにくさに優れていますが、それに加え、通常の高硬度材にはない耐ブリスター性(耐急減圧性)を備えています。
ISO23936-2、NORSOK M710 Rex.2の試験で合格しており、石油掘削開発機器での実績もあります。
モリセイ パーフロ(FFKM)等の物理的特性の実測値です。
| 試験項目/材質 | MPB | 4275B | MP300B | MPP | 4270W |
|---|---|---|---|---|---|
| 常態試験 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 |
| タイプAデュロメータ硬さ | 80 | 74 | 74 | 75 | 72 |
| 引張強さ(Mpa) | 13.88 | 15.05 | 12.71 | 16.66 | 13.93 |
| 伸び(%) | 170 | 123 | 168 | 207 | 150 |
| 100%時引張応力(Mpa) | 9.60 | 12.92 | 9.07 | 6.00 | 9.67 |
| 老化試験 | 200℃×70h | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 200℃×70h |
| 硬さ変化 | 1 | 1 | 0 | 0 | -1 |
| 引張強さ変化率(%) | 14 | -1 | 12 | -16 | 5 |
| 伸び変化率(%) | 8 | -1 | 9 | -4 | -3 |
| 圧縮永久ひずみ試験 | 200℃×70h | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 200℃×70h |
| ％ | 25 | 10 | 15 | 34 | 31 |
| 試験項目/材質 | 6780SP | 6470SB | J-3LX | 1075 | 95 |
|---|---|---|---|---|---|
| 常態試験 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 |
| タイプAデュロメータ硬さ | 81 | 69 | 68 | 73 | 98 |
| 引張強さ(Mpa) | 21.87 | 18.90 | 7.7 | 14.1 | 23.4 |
| 伸び(%) | 162 | 214 | 268 | 286 | 83 |
| 100%時引張応力(Mpa) | 8.63 | 6.99 | 3.10 | 4.28 | (18.10*1) |
| 老化試験 | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 300℃×72h | 120℃×70h |
| 硬さ変化 | -2 | -1 | +1 | -2 | +1 |
| 引張強さ変化率(%) | -14 | 9 | -1 | -13 | +7 |
| 伸び変化率(%) | -14 | 1 | -13 | +22 | -14 |
| 圧縮永久ひずみ試験 | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 300℃×72h | 200℃×72h |
| ％ | 25 | 24 | 29 | 56(P-26) | 21 |
*1:50%時引張応力(Mpa)
モリセイ パーフロ(FFKM)等の各種流体耐性一覧表です。
◎：使用可 〇：影響あるが使用可 △：やむを得ないとき以外使用不可 ×：使用不可
| 流体の種類 | MPB | 4275B | MP300B | MPP | 4270W |
|---|---|---|---|---|---|
| 潤滑油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| シリコーングリース | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 作動油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| クーラント液 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ | ◎ | × | ◎ | ◎ |
| 有機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機アルカリ類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 酸化剤 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 芳香族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 含ハロゲン炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| メチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エーテル類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エステル類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| ケトン類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| アルデヒド類 | ◎ | ◎ | △ | ◎ | ◎ |
| アミン類 | ◎ | ◎ | × | ◎ | ◎ |
| N?O?Heガス | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 耐真空性 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 食品衛生法適合 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
*1◎（硫酸、フッ酸×） *2○（F系×） *3◎（F系×） *4◎（F系×）
| 流体の種類 | 6780SP | 6470SB | J-3LX | 1075 | 95 |
|---|---|---|---|---|---|
| 潤滑油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| シリコーングリース | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 作動油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| クーラント液 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 有機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機酸類 | ◎ | ◎ | ◎*1 | ◎ | ◎ |
| 無機アルカリ類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 酸化剤 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 芳香族炭素水素 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 含ハロゲン炭素水素 | ◎ | ◎ | ○*2 | ◎*3 | ◎*4 |
| メチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エーテル類 | ◎ | ◎ | △ | ◎ | ◎ |
| エステル類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| ケトン類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| アルデヒド類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| アミン類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| N?O?Heガス | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ |
| 耐真空性 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ |
| 食品衛生法適合 | ◎ | ◎ | - | - | - |
*1◎（硫酸、フッ酸×） *2○（F系×） *3◎（F系×） *4◎（F系×）
体積変化率 A:5%未満(◎好適) B:5%～20%(○条件により適合)
C:20%～50%未満(△使用要注意) D:50%以上(×不可)
評価中の( )はポリマー構造から推定しています。
| 薬品類 | 試験条件 | MPB/4275B | NEXUS-217 | JIS FKM-70 |
|---|---|---|---|---|
| (鉱酸、有機酸) | ||||
| 塩酸(35%) | 40℃×21d | A | A | B |
| 硫酸(35%) | 40℃×10d | A | A | B |
| 硫酸(98%) | 40℃×11d | A | A | B |
| 硝酸(60%) | 40℃×10d | A | A | D |
| フッ酸(50%) | 40℃×10d | A | A | B |
| 氷酢酸 | 40℃×21d | A | D | D |
| 無水酢酸 | 40℃×21d | A | D | D |
| 蟻酸(88%) | 40℃×21d | A | (C) | (D) |
| (無機アルカリ類) | ||||
| 水酸化ナトリウム(30%) | 40℃×8d | A | C | (侵食) |
| 水酸化ナトリウム(30%) | 40℃×21d | A | D | (侵食) |
| 次亜塩素酸ナトリウム (10%) |
40℃×21d | A | B | C |
| アンモニア水(28%) | 25℃×21d | A | D | D |
| アンモニア水(28%) | 40℃×21d | A | D | D |
| (ケトン、エステル、エーテル類) | ||||
| アセトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メテルエチルケトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メチルイソブチルケトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| イソホロン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| ジエチレンカーボネート | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセチルアセトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 蟻酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸エチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸イソアミル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセト酢酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセト酢酸エチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アクリル酸 | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アクリル酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| シュウ酸ジエチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| マレイン酸ジメチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| トリエチルホスフェート | 40℃×21d | A | B | (D) |
| トリクレジルホスフェート | 40℃×21d | A | B | (D) |
| ジエチルエーテル | 40℃×21d | B | D | (D) |
| 1,4-ジオキサン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メチルーt-ブチルエーテル | 40℃×21d | B | D | (D) |
| 薬品類 | 試験条件 | MPB/4275B | NEXUS-217 | JISFKM-70 |
| (フラン、アルデヒド類) | ||||
| テトラヒドロフラン | 40℃×21d | B | D | D |
| 2-メチルテトラヒドロフラン | 40℃×21d | B | D | D |
| アセトアルデヒド | 25℃×21d | B | D | D |
| フルフラール | 40℃×21d | A | (C) | (C) |
| フルフラール | 100℃×7d | A | (B) | (D) |
| アセトフェノン | 40℃×21d | A | (C) | (D) |
| ホルマリン(35%) | 40℃×21d | A | (B) | (C) |
| ホルムアルデヒド | 40℃×21d | A | D | D |
| (含窒素化合物) | ||||
| アクリロニトリル | 40℃×10d | A | A | B |
| エチレンジアミン | 40℃×10d | A※ | D | D |
| トリエチルアミン | 40℃×21d | A※ | D | D |
| トリエチレンテトラミン | 25℃×21d | A※ | D | D |
| アニリン | 40℃×21d | A | D | D |
| ピリジン | 40℃×21d | A | C | D |
| N,N'-ジメチルホルムアミド | 40℃×21d | A | D | D |
| N,N'-ジメチルアセトアミド | 40℃×21d | A | D | D |
| N-メチル-2-ピロリドン | 100℃×21d | A | D | D |
| 1,8-ジアザバイシクロ [5,4,0]ウンデセン |
40℃×7d | A | D | D |
| (炭化水素、ハロゲン化炭化水素) | ||||
| n-ヘキサン | 40℃×21d | A | B | B |
| シクロヘキサン | 40℃×21d | B | B | B |
| イソオクタン |
40℃×21d | B | B | B |
| デカリン | 40℃×21d | A | B | B |
| ベンゼン | 40℃×21d | A | C | D |
| トルエン | 40℃×21d | A | B | C |
| キシレン | 40℃×21d | A | B | C |
| エチルベンゼン | 40℃×21d | A | B | B |
| ニトロベンゼン | 40℃×21d | A | B | B |
| モノクロルトルエン | 40℃×21d | A | B | C |
| 1,2-ジクロルベンゼン | 40℃×21d | A | B | C |
| クロロホルム | 40℃×21d | A | C | D |
| 四塩化炭素 | 40℃×21d | B | C | D |
| 塩化メチレン | 25℃×21d | A | C | D |
| トリクロルエチレン | 40℃×21d | A | B | C |
| テトラクロルエチレン | 40℃×21d | B | B | C |
| テトラクロルエチレン | 100℃×7d | B | B | C |
| 1,2-ジブロモエタン | 40℃×21d | A | B | B |
| R-113 | 25℃×11d | D | D | C |
| R-112 | 40℃×11d | C | C | C |
| ダイフロイル#10 (フッ素油) |
130℃×11d | C | C | C |
| ダイフロイル#1 (フッ素油) |
40℃×21d | C | C | C |
| フロリナートFC77 | 180℃×7d | D | C | B |
| ノベックHFE7100 | 23℃×3d | C | C | B |
| (アルコール類) | ||||
| メチルアルコール (メタノール) |
40℃×21d | A | B | D |
| エチルアルコール (エタノール) |
40℃×21d | A | A | B |
| イソプロピルアルコール (プロパノール) |
40℃×21d | A | A | A |
| エチレングリコール | 40℃×21d | A | A | A |
| エチレングリコール | 130℃×10d | A | (A) | (B) |
| メチルカルビトール | 40℃×21d | A | A | (B) |
| エチルカルビトール | 100℃×7d | A | (B) | (B) |
| シクロヘキサノール | 40℃×21d | A | A | (B) |
| (その他、油、スチーム類) | ||||
| 塗料用シンナー | 32℃×28d | A | D | D |
| ファイアークエル | 130℃×11d | A | A | B |
| ファイアークエル | 175℃×3d | A | (B) | (B) |
| DNカットHS-1 (切削油) |
130℃×11d | A | (B) | (D) |
| エッソユニフロ | 1フ5℃×20d | A | (B) | (C) |
| O-148LCT (AirCraftエンジン油) |
175℃×20d | A | (B) | (C) |
| JlS No.1オイル (潤滑油) |
175℃×16d | A | A | A |
| ASTM No.3オィル (潤滑油) |
175℃×16d | A | A | B |
| LLC 50%水溶液 (トヨタ自) |
130℃×16d | A | A | B |
| スチーム | 150℃×30d | A※ | A | (D) |
| スチーム | 190℃×30d | A※ | B | D |
| 95℃熱水 | 95℃×21d | A | A | C |
下のグラフは汎用フッ素ゴムでは使用できない薬品(50%以上の体積変化または破壊するもの)に対し、浸漬試験をしております。パーフロでも耐薬品性が若干異なります。
プラズマエッチング装置にて、重量減少率、パーティクル発生率の測定を行っております。使用ガスはO2、CF4/O2、SF6の3種類の測定結果です。
重量減少では4270Wが優れ、パーティクル量の少なさではMPPが優秀です。
蛍光X線分析装置(EDX)を用いて、モリセイパーフロの元素分析を行っています。
測定機器:EDX-720(島津製作所製)
検出範囲:11Na～92U
定量法:FP法。機器内蔵の検量線を用い、パーフロポリマーをバランスとして定量計算しております。
