モリセイパーシティーシリーズOリングは、従来のフッ素ゴムの限界を超える超高性能フッ素ゴム(パーフロロエラストマー:FFKM)およびパーフルオロポリエーテルエラストマー(FFKO)で構成されています。耐溶剤性、耐熱性、耐プラズマ性など、あらゆる過酷な環境で最高の密封性能を発揮するよう設計されており、品質管理に優れた安心の日本国産Oリングです。
化学プラント、半導体製造装置、医療・食品分野など、極めて高い信頼性とクリーン性が求められる現場において、究極のシールソリューションを提供します。
モリセイパーシティーシリーズでは、様々な特性を持つ超高性能Oリングをご用意しております。
モリセイOリングメーカー:森清化工
モリセイOリングに使用される汎用グレード、高性能グレード、そして超高性能パーフロ(FFKM)の代表的な構造例をご紹介します。
耐熱性、耐油性に優れた汎用グレードのフッ素ゴムです。高温水・スチーム・無機酸類など、加水分解を受ける可能性がある環境では注意が必要です。
二元系フッ素ゴムに比べ、フッ素(原子記号:F)濃度が高く、ポリマーが化学的に安定しています。無機酸類に強く、優れた耐スチーム性を有します。
主鎖中に炭素-水素結合を含んでいないため、化学的、熱的に非常に安定しています。この安定性により、極めて広範囲の薬品や高温環境に対応可能です。架橋方式によって耐熱性が異なります。
機械強度、伸度、耐溶剤性、耐薬品性に優れるモリセイパーフロの基本材質です。
黒色 耐熱性230℃~0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途: バルブ、フランジ ●
MPBはパーフルオロエラストマー材(FFKM)で、非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有します。酸塩基、ケトン、アミンなどの薬品に耐性があり、推奨温度範囲内であれば熱水・スチームにも対応可能です。高いガスバリア性も持ち、真空シール用途にもご使用いただけます。
MPBとほぼ同等の耐薬品性、物性を持ちますが、特に圧縮永久歪に優れる材質です。
黒色 耐熱性200℃~-15℃ 硬さA75±5
●主な使用用途: バルブ、フランジ ●
4275Bはパーフルオロエラストマー(FFKM)であり、優れた耐熱性と耐薬品性を有します。酸塩基、ケトン、アミンなどをはじめとしたほぼ全ての薬品に耐性があり、推奨温度範囲内であれば熱水・スチームにもご使用いただけます。また、他のパーフロと比較して低温性に優れており、-15℃まで対応可能です。
モリセイ Oリング全材質の中で最も耐熱性に優れる材質です。ただし、他のモリセイパーフロと比較して熱水、スチーム、高温アミンには注意が必要です。
黒色 耐熱性300℃~0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途: 真空炉など高熱環境 ●
MP300Bはパーフルオロエラストマー材(FFKM)で、非常に優れた耐熱性を有しており、300℃でのご使用が可能です。耐薬品性も優れていますが、高温の熱水、スチーム、アミンなどからは影響を受ける可能性があり注意が必要です。
有害金属を含有しておらず、プラズマエッチング用途に最適な材質です。
白色 耐熱性200℃~0℃ 硬さA70±5
●主な使用用途: 半導体製造装置の真空炉など高熱環境、ドライエッチング用途 ●
MPPはパーフルオロエラストマー材(FFKM)で、非常に優れた耐熱性と耐薬品性を有します。この材質は半導体製造工程のドライエッチング用途などを想定して設計されており、カーボン及び金属系の充填剤が不使用のため、使用時の系内汚染を抑えることが可能です。
MPPと同様にプラズマエッチング用途に適しており、特に圧縮永久歪、低粘着性に優れます。
白色 耐熱性200℃~-15℃ 硬さA70±5
●主な使用用途: 半導体、液晶製造装置など ●
4270Wはパーフルオロエラストマー材(FFKM)で、優れた耐熱性と耐薬品性を有します。半導体製造工程のドライエッチング用途向けに設計されており、カーボン不使用のため汚染を抑えられます。この材質はプラズマの遮蔽性が高く、重量減少率を低く抑え、長期間の使用が可能です。
耐プラズマ性に優れ、耐熱性、圧縮永久歪みも良好なハイグレード品です。
白色 耐熱性230℃~0℃ 硬さA80±5
●主な使用用途: 半導体製造装置など ●
6780SPはパーフルオロエラストマー材(FFKM)で、非常に優れた耐薬品性を持ちます。半導体製造工程のドライエッチング用途などを想定して設計されており、カーボン及び金属系の充填剤が不使用のため汚染を抑えられます。従来材と比較して、重量減少率とパーティクル発生率が低い材質です。
300℃まで対応可能で、かつ耐薬品性にも優れるハイグレード品です。
黒色 耐熱性300℃~0℃ 硬さA70±5
●主な使用用途: 半導体製造装置など ●
6470SBはパーフルオロエラストマー(FFKM)の材質で、モリセイ Oリング材質の中では、最も優れた耐熱性と耐薬品性を有します。300℃までの熱水・スチーム、アミン、酸塩基などにもご使用いただけます。半導体製造工程のレジストストリッパーに使われる非常に強い薬剤や高温の洗浄工程などにもご使用可能です。
ある程度の耐薬品性と耐熱性に加え、-60℃まで対応できる優れた低温性を兼ね備えています。
黒色 耐熱性200℃~-60℃ 硬さA70±5
●主な使用用途: 低温の流体、溶剤 ●
J-3LXは特殊フッ素ゴムの一種であるパーフルオロポリエーテルエラストマー(FFKO)です。ポリマー構造の特性により、200℃までの耐熱性、他のフッ素ゴムより優れた-60℃までの低温性、さらに通常のフッ素ゴムでは耐性のない一部溶剤への耐性を兼ね備えております。ただし、対応可能サイズに制限があり、特有の外観基準を設けております。
プラズマエッチング用途に適し、耐熱性にも優れた材料です。
灰色 耐熱性300℃~0℃ 硬さA75±5
●主な使用用途: 高温、プラズマ環境 ●
Percity-1075はパーフルオロエラストマー(FFKM)の一種で、耐薬品性に優れたパーシティーシリーズです。外観は淡い灰色となりますが、プラズマエッチングへの耐性、エッチング時の非ダスト性に優れています。同時に、耐熱性も非常に優れており、300℃までの高温でもシール性を保つことができます。
耐薬品性と耐圧性に優れた材料であり、特に急減圧耐性を備えています。
黒色 耐熱性230℃~-10℃ 硬さA95±5
●主な使用用途: 高圧、耐薬品性環境 ●
Samurai-95はパーフルオロエラストマー(FFKM)の一種で、耐薬品性に優れたパーシティーシリーズです。硬度95Aと非常に硬い材質であり、高圧使用時のはみだしにくさに優れています。加えて、通常の高硬度材にはない耐ブリスター性(耐急減圧性)を備えています。ISO23936-2、NORSOK M710 Rev.2の試験で合格しており、石油掘削開発機器での実績もあります。
モリセイ パーフロ(FFKM)等の物理的特性の実測値です。
| 試験項目/材質 | MPB | 4275B | MP300B | MPP | 4270W |
|---|---|---|---|---|---|
| 常態試験 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 |
| タイプAデュロメータ硬さ | 80 | 74 | 74 | 75 | 72 |
| 引張強さ(Mpa) | 13.88 | 15.05 | 12.71 | 16.66 | 13.93 |
| 伸び(%) | 170 | 123 | 168 | 207 | 150 |
| 100%時引張応力(Mpa) | 9.60 | 12.92 | 9.07 | 6.00 | 9.67 |
| 老化試験 | 200℃×70h | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 200℃×70h |
| 硬さ変化 | 1 | 1 | 0 | 0 | -1 |
| 引張強さ変化率(%) | 14 | -1 | 12 | -16 | 5 |
| 伸び変化率(%) | 8 | -1 | 9 | -4 | -3 |
| 圧縮永久ひずみ試験 | 200℃×70h | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 200℃×70h |
| % | 25 | 10 | 15 | 34 | 31 |
| 試験項目/材質 | 6780SP | 6470SB | J-3LX | Percity-1075 | Samurai-95 |
|---|---|---|---|---|---|
| 常態試験 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 | 実測値 |
| タイプAデュロメータ硬さ | 81 | 69 | 68 | 73 | 98 |
| 引張強さ(Mpa) | 21.87 | 18.90 | 7.7 | 14.1 | 23.4 |
| 伸び(%) | 162 | 214 | 268 | 286 | 83 |
| 100%時引張応力(Mpa) | 8.63 | 6.99 | 3.10 | 4.28 | (18.10*1) |
| 老化試験 | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 300℃×72h | 120℃×70h |
| 硬さ変化 | -2 | -1 | +1 | -2 | +1 |
| 引張強さ変化率(%) | -14 | 9 | -1 | -13 | +7 |
| 伸び変化率(%) | -14 | 1 | -13 | +22 | -14 |
| 圧縮永久ひずみ試験 | 200℃×70h | 300℃×70h | 200℃×70h | 300℃×72h | 200℃×72h |
| % | 25 | 24 | 29 | 56(P-26) | 21 |
*1:50%時引張応力(Mpa)
モリセイ パーシティーシリーズ(FFKM/FFKO)の各種流体耐性一覧表です。
◎:使用可 〇:影響あるが使用可 △:やむを得ないとき以外使用不可 ×:使用不可
| 流体の種類 | MPB | 4275B | MP300B | MPP | 4270W |
|---|---|---|---|---|---|
| 潤滑油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| シリコーングリース | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 作動油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| クーラント液 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ | ◎ | × | ◎ | ◎ |
| 有機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機アルカリ類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 酸化剤 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 芳香族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 含ハロゲン炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| メチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エーテル類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エステル類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| ケトン類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| アルデヒド類 | ◎ | ◎ | △ | ◎ | ◎ |
| アミン類 | ◎ | ◎ | × | ◎ | ◎ |
| N2O2Heガス | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 耐真空性 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| 食品衛生法適合 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
*1◎(硫酸、フッ酸×) *2○(F系×) *3◎(F系×) *4◎(F系×)
| 流体の種類 | 6780SP | 6470SB | J-3LX | Percity-1075 | Samurai-95 |
|---|---|---|---|---|---|
| 潤滑油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| シリコーングリース | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 作動油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 軽油・ガソリン | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| クーラント液 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 水糸切削油 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 熱水・スチーム | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 有機酸類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 無機酸類 | ◎ | ◎ | ◎*1 | ◎ | ◎ |
| 無機アルカリ類 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 酸化剤 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 脂肪族炭素水素 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| 芳香族炭素水素 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| 含ハロゲン炭素水素 | ◎ | ◎ | ○*2 | ◎*3 | ◎*4 |
| メチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エチルアルコール | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| エーテル類 | ◎ | ◎ | △ | ◎ | ◎ |
| エステル類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| ケトン類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| アルデヒド類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| アミン類 | ◎ | ◎ | ○ | ◎ | ◎ |
| N?O?Heガス | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ |
| 耐真空性 | ○ | ○ | ○ | ◎ | ◎ |
| 食品衛生法適合 | ◎ | ◎ | - | - | - |
*1◎(硫酸、フッ酸×) *2○(F系×) *3◎(F系×) *4◎(F系×)
この表は、モリセイパーシティーシリーズのパーフロ(FFKM)および特殊フッ素ゴムの体積変化率に基づく耐薬品性評価です。
評価基準: A:5%未満(◎好適) B:5%~20%(〇条件により適合) C:20%~50%未満(△使用要注意) D:50%以上(×不可)
評価中の( )はポリマー構造から推定しています。
| 薬品類 | 試験条件 | MPB/4275B | NEXUS-217 | JIS FKM-70 |
|---|---|---|---|---|
| 鉱酸、有機酸 | ||||
| 塩酸(35%) | 40℃×21d | A | A | B |
| 硫酸(35%) | 40℃×10d | A | A | B |
| 硫酸(98%) | 40℃×11d | A | A | B |
| 硝酸(60%) | 40℃×10d | A | A | D |
| フッ酸(50%) | 40℃×10d | A | A | B |
| 氷酢酸 | 40℃×21d | A | D | D |
| 無水酢酸 | 40℃×21d | A | D | D |
| 蟻酸(88%) | 40℃×21d | A | (C) | (D) |
| 無機アルカリ類 | ||||
| 水酸化ナトリウム(30%) | 40℃×8d | A | C | (侵食) |
| 水酸化ナトリウム(30%) | 40℃×21d | A | D | (侵食) |
| 次亜塩素酸ナトリウム (10%) |
40℃×21d | A | B | C |
| アンモニア水(28%) | 25℃×21d | A | D | D |
| アンモニア水(28%) | 40℃×21d | A | D | D |
| ケトン、エステル、エーテル類 | ||||
| アセトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メテルエチルケトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メチルイソブチルケトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| イソホロン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| ジエチレンカーボネート | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセチルアセトン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 蟻酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸エチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| 酢酸イソアミル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセト酢酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アセト酢酸エチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アクリル酸 | 40℃×21d | A | D | (D) |
| アクリル酸メチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| シュウ酸ジエチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| マレイン酸ジメチル | 40℃×21d | A | D | (D) |
| トリエチルホスフェート | 40℃×21d | A | B | (D) |
| トリクレジルホスフェート | 40℃×21d | A | B | (D) |
| ジエチルエーテル | 40℃×21d | B | D | (D) |
| 1,4-ジオキサン | 40℃×21d | A | D | (D) |
| メチルーt-ブチルエーテル | 40℃×21d | B | D | (D) |
| 薬品類 | 試験条件 | MPB/4275B | NEXUS-217 | JISFKM-70 |
| フラン、アルデヒド類 | ||||
| テトラヒドロフラン | 40℃×21d | B | D | D |
| 2-メチルテトラヒドロフラン | 40℃×21d | B | D | D |
| アセトアルデヒド | 25℃×21d | B | D | D |
| フルフラール | 40℃×21d | A | (C) | (C) |
| フルフラール | 100℃×7d | A | (B) | (D) |
| アセトフェノン | 40℃×21d | A | (C) | (D) |
| ホルマリン(35%) | 40℃×21d | A | (B) | (C) |
| ホルムアルデヒド | 40℃×21d | A | D | D |
| 含窒素化合物 | ||||
| アクリロニトリル | 40℃×10d | A | A | B |
| エチレンジアミン | 40℃×10d | A※ | D | D |
| トリエチルアミン | 40℃×21d | A※ | D | D |
| トリエチレンテトラミン | 25℃×21d | A※ | D | D |
| アニリン | 40℃×21d | A | D | D |
| ピリジン | 40℃×21d | A | C | D |
| N,N'-ジメチルホルムアミド | 40℃×21d | A | D | D |
| N,N'-ジメチルアセトアミド | 40℃×21d | A | D | D |
| N-メチル-2-ピロリドン | 100℃×21d | A | D | D |
| 1,8-ジアザバイシクロ [5,4,0]ウンデセン |
40℃×7d | A | D | D |
| 炭化水素、ハロゲン化炭化水素 | ||||
| n-ヘキサン | 40℃×21d | A | B | B |
| シクロヘキサン | 40℃×21d | B | B | B |
| イソオクタン |
40℃×21d | B | B | B |
| デカリン | 40℃×21d | A | B | B |
| ベンゼン | 40℃×21d | A | C | D |
| トルエン | 40℃×21d | A | B | C |
| キシレン | 40℃×21d | A | B | C |
| エチルベンゼン | 40℃×21d | A | B | B |
| ニトロベンゼン | 40℃×21d | A | B | B |
| モノクロルトルエン | 40℃×21d | A | B | C |
| 1,2-ジクロルベンゼン | 40℃×21d | A | B | C |
| クロロホルム | 40℃×21d | A | C | D |
| 四塩化炭素 | 40℃×21d | B | C | D |
| 塩化メチレン | 25℃×21d | A | C | D |
| トリクロルエチレン | 40℃×21d | A | B | C |
| テトラクロルエチレン | 40℃×21d | B | B | C |
| テトラクロルエチレン | 100℃×7d | B | B | C |
| 1,2-ジブロモエタン | 40℃×21d | A | B | B |
| R-113 | 25℃×11d | D | D | C |
| R-112 | 40℃×11d | C | C | C |
| ダイフロイル#10 (フッ素油) |
130℃×11d | C | C | C |
| ダイフロイル#1 (フッ素油) |
40℃×21d | C | C | C |
| フロリナートFC77 | 180℃×7d | D | C | B |
| ノベックHFE7100 | 23℃×3d | C | C | B |
| アルコール類 | ||||
| メチルアルコール (メタノール) |
40℃×21d | A | B | D |
| エチルアルコール (エタノール) |
40℃×21d | A | A | B |
| イソプロピルアルコール (プロパノール) |
40℃×21d | A | A | A |
| エチレングリコール | 40℃×21d | A | A | A |
| エチレングリコール | 130℃×10d | A | (A) | (B) |
| メチルカルビトール | 40℃×21d | A | A | (B) |
| エチルカルビトール | 100℃×7d | A | (B) | (B) |
| シクロヘキサノール | 40℃×21d | A | A | (B) |
| その他、油、スチーム類 | ||||
| 塗料用シンナー | 32℃×28d | A | D | D |
| ファイアークエル | 130℃×11d | A | A | B |
| ファイアークエル | 175℃×3d | A | (B) | (B) |
| DNカットHS-1 (切削油) |
130℃×11d | A | (B) | (D) |
| エッソユニフロ | 1フ5℃×20d | A | (B) | (C) |
| O-148LCT (AirCraftエンジン油) |
175℃×20d | A | (B) | (C) |
| JlS No.1オイル (潤滑油) |
175℃×16d | A | A | A |
| ASTM No.3オィル (潤滑油) |
175℃×16d | A | A | B |
| LLC 50%水溶液 (トヨタ自) |
130℃×16d | A | A | B |
| スチーム | 150℃×30d | A※ | A | (D) |
| スチーム | 190℃×30d | A※ | B | D |
| 95℃熱水 | 95℃×21d | A | A | C |
下のグラフは汎用フッ素ゴムでは使用できない薬品(50%以上の体積変化または破壊するもの)に対し、浸漬試験をしております。パーフロでも耐薬品性が若干異なります。
プラズマエッチング装置にて、重量減少率、パーティクル発生率の測定を行っております。使用ガスはO2、CF4/O2、SF6の3種類の測定結果です。
重量減少では4270Wが優れ、パーティクル量の少なさではMPPが優秀です。
蛍光X線分析装置(EDX)を用いて、モリセイパーフロの元素分析を行っています。
測定機器: EDX-720(島津製作所製)
検出範囲: 11Na~92U
定量法: FP法。機器内蔵の検量線を用い、パーフロポリマーをバランスとして定量計算しております。
モリセイOリングメーカー:森清化工