耐プラズマ用途、次世代カルレッツ
●低パーティクル特性
●固定部、稼働部共に優れたシール特性
●低放出ガス特性
●耐プラズマ用途
カルレッツ® はデュポン エラストマー社の商標です。
(1)フッ素系、酸素系プラズマ両者の耐プラズマ性能を保有し、非常に優れた低パーティクル・放出ガス特性を持っております。
(2)固定部・稼働部に関わらず、優れた機械特性とシール性能を示します。
カルレッツの優れた物理的特性
| 材質 | Kalrez9100 | Kalrez8002 | Kalrez8085 |
|---|---|---|---|
| 硬度(ショアA)(a) | 74 | 69(b) | 82 |
| 100%モジュラス(MPa)(c) | 4.3 | 2.9(d) | 7.5 |
| 破断時の伸び(%) | 220 | 246 | 159 |
| 圧縮永久歪み(%)(204℃70hr)(e) | 17 | 15 | 42 |
| 圧縮永久歪み(%)(250℃70hr)(e) | 21 | - | - |
| 耐熱目安温度(℃) | 300 | 275 | 240 |
(a)ASTM D2240
(b)JIS K6253
(c)ASTM D412
(d)JIS K6251
(e)ASTM D395B
HDPCVDでのカルレッツ9100の使用後の表面観察
(アイソレーションバルブ部)
使用環境:使用ガス:SiH4,He,O2
【クリーニングガス:NF3プラズマ/3000W】
処理枚数:5000枚
カルレッツ製品の使用および廃棄に関して、上記の情報は何ら保証をなすものではありません。また責を負うものではありません。使用に際しては,個々の用途に対して,使用の前に,独自に機能テストを行なうようにおすすめします｡エラストマー製の部品は,どれをとっても永久に使用できるものではありません｡したがってカルレッツ製の部品といえども重大な応用分野で使用する場合は,定期的な点検と交換を忘れないよう,十分にお気をつけください｡
