プラズマ用途カルレッツ サハラシリーズ
●プラズマ用途材料
●高温シール特性に優れている
カルレッツ® はデュポン エラストマー社の商標です。
カルレッツ8575は最高の耐プラズマ性と優れた高温シール特性を持ったプラズマ用途(エッチング、アッシング、プラズマCVD等)用の新材質です。
カルレッツの優れた物理的特性、カルレッツ サハラシリーズ
| 材質 | Kalrez8575 | Kalrez4079 | Kalrez8375 |
|---|---|---|---|
| 耐熱温度目安(℃) | 280 | 300 | 275 |
| 硬度(ショアA) | 72 | 75 | 75 |
| 引張り強さ*(kgf/cm2) | 142 | 172 | 169 |
| 破断時の伸び(%) | 204 | 150 | 217 |
*ASTM D412,500mm/min.
カルレッツ8575の優れたプラズマ性能。
カルレッツ8575の優れた高温時のシール性能。
カルレッツ製品の使用および廃棄に関して、上記の情報は何ら保証をなすものではありません。また責を負うものではありません。使用に際しては,個々の用途に対して,使用の前に,独自に機能テストを行なうようにおすすめします｡エラストマー製の部品は,どれをとっても永久に使用できるものではありません｡したがってカルレッツ製の部品といえども重大な応用分野で使用する場合は,定期的な点検と交換を忘れないよう,十分にお気をつけください｡
